你知道吗？在微纳世界，灰尘就是"导弹"，头发丝就是"火箭"，它们会对芯片的精度产生重大的影响。要怎么才能保护"芯片"的生命？洁净室就是保护"芯片"的防空洞。但一个高精尖的洁净室是怎么被"净化"的？洁净室里的设备需要哪些"粮食"支撑？在洁净室里科学家们又是怎样工作的？
5月25日下午，上海交通大学高精尖实验室——先进电子材料与器件校级平台（AEMD平台）掀开神秘面纱，首次向300多名参观者开放，以本市中小学生为主要活动对象，带大家在趣味探索中，进行了一场神奇的微纳世界之旅。
原来，洁净室是污染控制的基础，通过控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明，而所给予特别设计之房间。
在现场，小小参观者们通过平台工作人员的引导解说，实地参观洁净室厂务系统、了解纯水、电力的作用；进入洁净室控制中心，一览洁净室的实际运作方式。在外围进行大致了解之后，部分参观者还进入洁净室参观。进入洁净室需要在更衣室跟换净化服后，佩戴头套、口罩和手套，再经过风淋间吹扫全身，并踩踏除尘毯，方得进入洁净室。参观者们体验参观高精尖微纳加工设备，零距离感受芯片的前世今生，现场感受交大先进的微米纳米尺度的结构与器件加工过程。
在参观的同时，小小参观者们还亲自动手操作光学显微镜、3D数码显微镜等测试设备，观察领略微米世界的精彩；还通过参观扫描电子显微镜实验过程，体验纳米世界的神奇。在洁净室里，前来参观的中小学生兴奋地说："我一直很好奇芯片是怎么加工的，这次终于有机会走进专业的洁净室，亲眼看到这些能制作出几纳米芯片的高精尖仪器是如何运作、芯片是如何一步步被加工，简直太神奇了！"
据悉，此次开放日活动还设置了趣味横生的游戏互动环节。通过微纳加工过程的分步展示、讲解和趣味问答，让参观者们深入了解微纳加工的过程。微纳加工技术是采用先进的高精尖专业化加工设备，对半导体、玻璃/陶资、聚合物、以及金属等基片或其上的单层或多层薄膜进行微米和纳米量级的尺度加工，形成具有特种功能用途的微纳结构或器件。游戏中，参观者们按照微纳加工流程"升级打怪"，通过亲身实践，体验微纳米器件的加工制备过程，解开微纳米科技的神秘面纱，在详细了解学习每一个加工步骤之后，可获得相应通关奖章。集齐所有奖章的参观者可最终会获得由AEMD平台颁发的"微纳小达人"证书，并有幸走进平日不对公众开放的专业级洁净室参观。
