上海热线讯：2024年11月26日，上海交通大学先进电子材料与器件平台（AEMD平台）迎来了十周年的庆典，同时宣布平台二、三期正式开放运行。这标志着上海交通大学在微纳加工领域的又一重大突破，吸引了众多校内外嘉宾、专家学者、企业代表等共同见证。

    据介绍，AEMD平台自2012年成立以来，始终致力于构建一个服务于全校并开放给校外科研院所及企业的微纳加工工艺实验平台。一期工程于2014年建成，并成功向校内外用户提供了具有纳米尺寸图形化能力的6英寸无源微纳结构与器件加工的科研实验线。十年间，平台为上海交通大学的多学科发展和交叉融合提供了坚实的支撑，同时也积极对接国家需求，推动了校外科研项目的基础与应用研究进程。

    庆典上，上海交通大学党委常委、副校长蒋兴浩表示，AEMD平台始终秉承“支持学科发展、支撑高水平科学研究”的初心，以“服务、互动、创新、满意”的运行管理模式，深耕微纳加工测试领域，现已发展成为国内知名的微纳加工平台。他还寄语平台在未来能够不断产出国内外基础性、前瞻性、特色性的原创成果，为加快实现我国高水平科技自立自强贡献力量。

    值得一提的是，AEMD平台在二、三期建设中追加逾3亿元投入，建成1200余平米的东区超净间，并新增了全自动深紫外步进式光刻机、离子注入机等先进的微纳加工与封装设备。这些新设备的加入，将有效增强平台在有源电/光器件、MEMS、先进三维封装等领域的科研服务支撑能力。

    庆典现场还举办了用户成果展大赛，重点展示了十年间由平台支持的代表性用户科研成果，包括新型光电器件、三维集成存储系统等尖端领域。这些成果不仅展示了平台在微纳加工领域的实力，也体现了平台与用户之间的紧密合作。

    相关负责人表示，未来AEMD平台将继续紧贴社会发展需求，以服务建设有中国特色世界一流大学为目标，为推动微纳技术研究与应用的进步贡献交大力量。